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硅晶圆的重要性以及生产时为何需要超纯水设备?

时间:2023-11-20

  前言:硅晶圆是现代微电子工业的基础材料,对于现代科技的发展具有至关重要的意义。微电子技术的发展已成为信息技术、航空航天、军事、通信、能源等众多领域的基础,而这一切都离不开硅晶圆的生产。而在硅晶圆制造工艺中还离不开一种设备的身影,那就是超纯水设备。

  硅晶圆的制造过程中为何需要超纯水设备?

  因为,硅晶圆的制造过程中,需要使用大量的水进行清洗和蚀刻。如果水质中含有杂质,就会对硅晶圆表面造成划痕或腐蚀,影响产品的质量。超纯水设备可以去除水中的微粒、有机物、无机物和其他杂质,确保水质达到极高纯度,从而保证硅晶圆的质量。

  硅晶圆生产中应用的超纯水设备主要采用的是预处理+反渗透+EDI+混床的组合形式来制备超纯水。设备具有高效低能、运行成本低,水资源利用率高、体积较小、维修量小,运行时间长等优点。并且设备采用的EDI模块可以避免添加任何化学品,不仅减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。EDI模块的应用不会产生酸碱废液,因此不需要酸碱中和处理,这也就减少了一定的投资成本。

超纯水设备

  超纯水设备不仅拥有上述的优势,还能够连续稳定地制备品质优良的超纯水,水质符合国家GMP认证规定标准,而且还能够满足各种工业用水的不同需求,应用范围非常广泛,可适用于电子、半导体、线路板、集成电路、精密机械的生产和清洗,还可以应用在食品、饮品和饮用水的制取行业中。

  结论:硅晶圆作为现代微电子工业的基础材料,超纯水设备能够提供高纯度的水,可以有效避免因水质问题引发的硅晶圆被划产生划痕等问题,保证了硅片的质量和性能。因此,超纯水设备是生产高质量硅晶圆的必要条件。

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  编辑:柒柒   技术:米

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